サブナノ秒レーザーによるシリコン・ガラスの微細加工
サブナノ秒レーザーによるシリコン・ガラスの微細加工
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使用亚纳秒激光微加工硅和玻璃
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松尾繁樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Peng Zhu;Limin Bao;和泉康夫，藤田 隆，南 久，渡邉純二，峠 睦;松尾繁樹
