イオン照射したSiCの寸法変化に及ぼす損傷速度効果
イオン照射したSiCの寸法変化に及ぼす損傷速度効果
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损伤率对离子辐照SiC尺寸变化的影响
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
檜木 達也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
近藤 創介;小柳 孝彰; 野中 誠人; 檜木 達也
