Microengineering of Metals and Ceramics: Part II: Special Replication Techniques, Automation and Properties; Volume 4: Advanced Micro & Nanosystems
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金属和陶瓷的微工程：第二部分：特殊复制技术、自动化和性能；
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J. Hausselt
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Baltes;O. Brand;G. Fedder;C. Hierold;J. Korvink;O. Tabata;D. Löhe;J. Hausselt
