Plasma-driven science for emerging plasma-processing technologies
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新兴等离子体处理技术的等离子体驱动科学
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Masaru Hori
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kenji Ishikawa;Hiromasa Tanaka;Hirokazu Hara;Shin-ichi Kondo;Masafumi Ito;Kazunori Koga;Masaharu Shiratani;and Masaru Hori
