半導体単結晶育成過程の転位密度評価シミュレーション(2)
半導体単結晶育成過程の転位密度評価シミュレーション(2)
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半导体单晶生长过程的位错密度评估模拟(2)
DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
宮崎則幸
中科院分区:
文献类型:
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作者:
N.MIYAZAKI;N.MIYAZAKI;N.Miyazaki;N.Miyazaki;N.MIYAZAKI;宮崎則幸;宮崎則幸;宮崎則幸