原子層堆積法によるガラス基板上ZnO成長の基板温度依存性および亜鉛原料の検討
原子層堆積法によるガラス基板上ZnO成長の基板温度依存性および亜鉛原料の検討
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原子层沉积法玻璃基板上ZnO生长的基板温度依赖性及锌原料研究
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
牧野 久雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Komnik;Y.F.;I.B.Berkutov;V.V.Andrievskii;O.A.Mironov;M.Myronov;D.R.Leadley;M. Myronov;M. Myronov;L. Pinsard-Gaudart;P. E. Jonsson;N.Dragoe;S.Niitaka;A.Yamamoto;新高誠司;島井幸太郎;中津嘉隆;入澤明典;牧野 久雄;Hisao Makino;牧野 久雄
