UV-enhanced atomic layer deposition of ZrO2 thin films at room temperature
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复制标题
室温下紫外增强 ZrO2 薄膜原子层沉积
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Sung
中科院分区：
文献类型：
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作者：
B. Lee;Sangho Cho;J. Hwang;S. H. Kim;M. Sung
