Effect of substrate temperature on carbon nitride films by Microwave-sheath Voltage combination Plasma
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复制标题
微波-鞘电压组合等离子体衬底温度对氮化碳薄膜的影响
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
原田泰典
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大平将寛;田中一平;原田泰典
