機能集積型光導波路照明素子に向けたSi3N4光導波路の設計と基礎評価

機能集積型光導波路照明素子に向けたSi3N4光導波路の設計と基礎評価
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功能集成光波导照明器件Si3N4光波导的设计与基础评估

DOI:
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发表时间:
2023
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
渡邉恵理子
渡邉恵理子
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
仲間一貴;菊地雄亮;林健太;岡本勝就;一色秀夫;渡邉恵理子

文献摘要

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