Investigation of the anodic oxide layer/SiC interface morphology during anodic oxidation assisted polishing
Investigation of the anodic oxide layer/SiC interface morphology during anodic oxidation assisted polishing
复制标题
阳极氧化辅助抛光过程中阳极氧化层/SiC界面形貌的研究
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Yamamura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Hosoya;Y. Imanishi;K. Endo;K. Yamamura
