450mm大口径ウエハ研削盤の開発ー切込み機構内蔵砥石スピンドルの基本特性
450mm大口径ウエハ研削盤の開発ー切込み機構内蔵砥石スピンドルの基本特性
复制标题
450mm大直径晶圆磨床的研制-内置切削机构砂轮主轴的基本特性
DOI：
--
复制
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
岩橋伸太郎，本多歩，楠山純平，北嶋孝之，由井明紀，齋藤浩嗣，A.H.Slocum
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
久住孝幸;中村竜太;池田 洋;佐藤安弘;赤上陽一;岩橋伸太郎，本多歩，楠山純平，北嶋孝之，由井明紀，齋藤浩嗣，A.H.Slocum
