第1原理計算による研磨機構の基礎的検討
第1原理計算による研磨機構の基礎的検討
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利用第一性原理计算进行抛光机理的基础研究
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
澁谷秀雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
笠原直人;ほか1名;澁谷秀雄
