多色マイクロコンタクトプリンティングに向けた精密位置合わせ

多色マイクロコンタクトプリンティングに向けた精密位置合わせ
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多色微接触印刷的精确对准

DOI:
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发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
岡野光夫
岡野光夫
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
田中信行;太田裕貴;福守一浩;大和雅之;岡野光夫

文献摘要

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