4H-SiC/SiO2界面に対する高温ドライ酸化および高温希釈水素POAの効果
4H-SiC/SiO2界面に対する高温ドライ酸化および高温希釈水素POAの効果
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高温干氧化和高温稀氢POA对4H-SiC/SiO2界面的影响
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
平井悠久
中科院分区：
文献类型：
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作者：
平井悠久;喜多浩之;平井悠久;平井悠久
