M.Shimozuma: "SPACE AND TIME RESOLUTION OF OPTICAL EMISSION FROM H_2+CH_4 PLASMA AT VARIOUS PLASMA POWER FREQUENCY" Proceedings of the 8th Symposium on Plasma Processing. 8. 361-364 (1991)
M.Shimozuma: "SPACE AND TIME RESOLUTION OF OPTICAL EMISSION FROM H_2+CH_4 PLASMA AT VARIOUS PLASMA POWER FREQUENCY" Proceedings of the 8th Symposium on Plasma Processing. 8. 361-364 (1991)
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M.Shimozuma：“不同等离子体功率频率下 H_2 CH_4 等离子体光学发射的空间和时间分辨率”第八届等离子体处理研讨会论文集。
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