光伝導を利用したHF溶液中でのポーラスシリコンナノ構造のフォトエッチング観測
光伝導を利用したHF溶液中でのポーラスシリコンナノ構造のフォトエッチング観測
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利用光电导在 HF 溶液中光刻观察多孔硅纳米结构
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
不破 弘樹，近藤 英一，金 蓮花
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Bernard Gelloz;不破 弘樹，近藤 英一，金 蓮花
