T.Hata; Y.Kamide; S.Nakagawa; K.Hattori: "Characteristics of a-Si Films Prepared by CMF-magnetron Sputtering." Trans. IECE(Japan). J69-C. 1239-1247 (1986)
T.Hata; Y.Kamide; S.Nakagawa; K.Hattori: "Characteristics of a-Si Films Prepared by CMF-magnetron Sputtering." Trans. IECE(Japan). J69-C. 1239-1247 (1986)
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T.哈塔;
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