INVESTIGATION OF ETCHING MECHANISM OF FLUORINE-BASED IONIC LIQUID ION BEAMS
INVESTIGATION OF ETCHING MECHANISM OF FLUORINE-BASED IONIC LIQUID ION BEAMS
复制标题
氟基离子液体离子束刻蚀机理研究
DOI：
10.1299/jsmemnm.2018.9.31pm2pn88
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发表时间：
2018
影响因子：
2.7
通讯作者：
H. Kuwano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Chính;L. Minh;T. Ono;H. Kuwano
