静電レンズ一体型フィールドエミッタの作製方法の改良

静電レンズ一体型フィールドエミッタの作製方法の改良
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静电透镜集成场发射体制造方法的改进

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
三村秀典
三村秀典
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
長尾昌善;吉田知也;西孝;神田信子;小池昭史;根尾洋一郎;三村秀典

文献摘要

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