Y.Tuzi,T.Okano,K.Terada: "Accuracy of conductance modulation method for the measurement of pumping speed and outgassing rate" J.Vac.Sci.Technol.A.

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Y.Tuzi、T.Okano、K.Terada:“测量抽气速度和排气率的电导调制方法的精度”J.Vac.Sci.Technol.A。

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