半導体製造工程におけるT2-Q管理図の実践 : 変動の大きさの管理から変動パターンの管理へ”
半導体製造工程におけるT2-Q管理図の実践 : 変動の大きさの管理から変動パターンの管理へ”
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在半导体制造过程中实践 T2-Q 控制图：从管理波动幅度到管理波动模式。”
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
東出政信，仁科健，川村大伸
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yasunari Tsuruoka;Hironobu Kawamura;東出政信，仁科健，川村大伸
