ダイヤモンドライクカーボン成膜用高周波CH4プラズマのシミュレーション
ダイヤモンドライクカーボン成膜用高周波CH4プラズマのシミュレーション
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高频CH4等离子体模拟类金刚石碳膜沉积
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小田 昭紀，上坂 裕之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Yokomizu;Y. Meguro and T. Matsumura.;百々直輝，山村直紀，石田宗秋;小田 昭紀，上坂 裕之
