Si-Ni合金融液からの単結晶シリコンロッド育成

Si-Ni合金融液からの単結晶シリコンロッド育成
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硅镍合金液生长单晶硅棒

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
鈴木俊夫
鈴木俊夫
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
小山琢実;池田実;鈴木俊夫

文献摘要

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