H.Fujiyama,K.Kuwahara: "Magnetron plasmas for large-area uniform sputtering" Surface & Coatings Technology. 74&75. 75-79 (1995)
H.Fujiyama,K.Kuwahara: "Magnetron plasmas for large-area uniform sputtering" Surface & Coatings Technology. 74&75. 75-79 (1995)
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H.Fujiyama、K.Kuwahara：“用于大面积均匀溅射的磁控管等离子体”表面
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