2次元TRI法によるAl配線のマイグレーションと温度分布の関係の可視化
2次元TRI法によるAl配線のマイグレーションと温度分布の関係の可視化
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使用 2D TRI 方法可视化 Al 布线迁移与温度分布之间的关系
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
荒木謙吾，玉井莞爾，巽和也，栗山怜子，中部主敬
中科院分区：
文献类型：
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作者：
豊川秀訓;尾原幸治;米村光治;荒木謙吾，玉井莞爾，巽和也，栗山怜子，中部主敬
