MOVPE選択成長InGaN/GaNにおけるH_2添加の効果

MOVPE選択成長InGaN/GaNにおけるH_2添加の効果
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添加H_2对MOVPE选择性生长InGaN/GaN的影响

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
中野義昭
中野義昭
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
塩田倫也;富田祐貴;杉山正和;霜垣幸浩;中野義昭

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