Positioning Control of a Cantilever Type Micro Actuator Using High-performance NdFeB/Ta Thin Film Magnets and Built-in Displacement Sensor
Positioning Control of a Cantilever Type Micro Actuator Using High-performance NdFeB/Ta Thin Film Magnets and Built-in Displacement Sensor
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采用高性能 NdFeB/Ta 薄膜磁体和内置位移传感器的悬臂式微执行器的定位控制
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hitoshi Yamamoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Sen Yao;Shunji Goto;Ryo Tanabe;Tadahiko Shinshi;Minoru Uehara;Hitoshi Yamamoto
