熱処理によるCVD-SiO_2の緻密化と圧縮応力緩和
熱処理によるCVD-SiO_2の緻密化と圧縮応力緩和
复制标题
热处理CVD-SiO_2的致密化和压应力松弛
DOI：
--
复制
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
染谷満;他
