微配線形成を目指した銅ナノ粒子の積層技術開発に関する研究
微配線形成を目指した銅ナノ粒子の積層技術開発に関する研究
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旨在形成精细互连的铜纳米粒子堆叠技术的开发研究
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鈴木一平，横山俊，高橋英志，田路和幸
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Uchida;H.;Y. Onozaka;T. Morita;and S. Managi;鈴木一平，横山俊，高橋英志，田路和幸
