SiCの表面仕上げにおける工作物対面摺合研磨加工法の提案
SiCの表面仕上げにおける工作物対面摺合研磨加工法の提案
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SiC表面精加工工件面对面抛光方法的提案
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大橋一仁
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masaki Otani;Junichi Uchikoshi;Kentaro Tsukamoto;Takabumi Nagai;Kenji Adachi,Kentaro Kawai;Kenta Arima and Mizuho Morita;大橋一仁
