Micropatterning of Organosilane Self-Assembled Monolayers Using Vacuum Ultraviolet Light at 172nm : Resolution Evaluation by Kelvin Probe Force Microscopy
Micropatterning of Organosilane Self-Assembled Monolayers Using Vacuum Ultraviolet Light at 172nm : Resolution Evaluation by Kelvin Probe Force Microscopy
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使用 172nm 真空紫外光对有机硅烷自组装单层进行微图案化：通过开尔文探针力显微镜进行分辨率评估
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
L.Hong et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroyuki Sugimura;Nagahiro Saito;Sun-Hyung Lee;Osamu Takai;H.Sugimura et al.;Y.Wu et al.;N.SAito et al.;L.Hong et al.;L.Hong et al.;L.Hong et al.
