橋本 健治,三浦 孝一 増田 隆夫,当麻 正明 沢井 宏之,河瀬 元明: "棒状基板型CVD反応器におけるシランからの多結晶シリコン製造反応の速度解析" 化学工学論文集. 16. 438-446 (1990)
橋本 健治,三浦 孝一 増田 隆夫,当麻 正明 沢井 宏之,河瀬 元明: "棒状基板型CVD反応器におけるシランからの多結晶シリコン製造反応の速度解析" 化学工学論文集. 16. 438-446 (1990)
复制标题
Kenji Hashimoto、Koichi Miura、Takao Masuda、Masaaki Toma、Hiroyuki Sawai、Motoaki Kawase:“棒状基底型 CVD 反应器中硅烷生产多晶硅反应的动力学分析”化学工程杂志 16. 438-446(1990 年)。 )
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: