Kunimasa Takahashi: "Characteristics of Fluorocarbon Radical and CHF3 Molecule in CHF3 Electron Cyclotron Resonance Downstream Plasma" Jpn.J.Appl.Phys.33. 4745-4751 (1994)
Kunimasa Takahashi: "Characteristics of Fluorocarbon Radical and CHF3 Molecule in CHF3 Electron Cyclotron Resonance Downstream Plasma" Jpn.J.Appl.Phys.33. 4745-4751 (1994)
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Kunimasa Takahashi：“CHF3电子回旋共振下游等离子体中氟碳自由基和CHF3分子的特征”Jpn.J.Appl.Phys.33。
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