T.Yamamoto,M.Ono,M.Ando,N.Goto,N.Ishii and Y.Yasaka: "Near-field distribution of radial line slot antenna for surface-wave-coupled plasma generation."Japanese Journal of Applied Physics.. Vol.40,Part 1,No.1. 380-387 (2001)
T.Yamamoto,M.Ono,M.Ando,N.Goto,N.Ishii and Y.Yasaka: "Near-field distribution of radial line slot antenna for surface-wave-coupled plasma generation."Japanese Journal of Applied Physics.. Vol.40,Part 1,No.1. 380-387 (2001)
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T.Yamamoto、M.Ono、M.Ando、N.Goto、N.Ishii 和 Y.Yasaka：“用于表面波耦合等离子体生成的径向线缝隙天线的近场分布。”日本应用物理学杂志。
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