Sputter Depth Profiling of Multiple Short-Period BN δ-Doped Si by Work Function Measurement

Sputter Depth Profiling of Multiple Short-Period BN δ-Doped Si by Work Function Measurement
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通过功函数测量对多种短周期 BN δ 掺杂硅进行溅射深度分析

DOI:
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发表时间:
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期刊:
Japanese Journal of Applied Physics (received)
影响因子:
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通讯作者:
Y.Takai
Y.Takai
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Y.Mizuhara;T.Bungo;T.Nagatomi;Y.Takai

文献摘要

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