Plasma modification of poly(oxybenzoate-co-oxynaphthoate) film surfaces for copper metallization
Plasma modification of poly(oxybenzoate-co-oxynaphthoate) film surfaces for copper metallization
复制标题
用于铜金属化的聚(羟基苯甲酸酯-共-羟基萘甲酸酯)薄膜表面的等离子体改性
DOI:
--
复制
发表时间:
2004
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
K.Miyazaki
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
N.Inagaki;Y.W.Park;K.Narushima;K.Miyazaki