Gas-source chemical vapor deposition growth of tungsten disulphide atomic layers with high grain size uniformity

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高晶粒尺寸均匀性二硫化钨原子层的气源化学气相沉积生长

DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
入沢 寿史
入沢 寿史
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
岡田 光博;岡田 直也;張 文馨;清水 哲夫;久保 利隆;入沢 寿史

文献摘要

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