Elastic Softening of Surface Acoustic Wave Caused by Vacancy Orbital in Silicon Wafer
Elastic Softening of Surface Acoustic Wave Caused by Vacancy Orbital in Silicon Wafer
复制标题
硅片空位轨道引起的表面声波弹性软化
DOI：
10.7566/jpsj.83.034702
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
and Y. Saito
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Mitsumoto;M. Akatsu;S. Baba;R. Takasu;Y. Nemoto;T. Goto;H.Y.-Kaneta;Y. Furumura;H. Saito;K. Kashima;and Y. Saito
