Preliminary study on highly efficient polishing of 4H-SiC utilizing anodic oxidation
Preliminary study on highly efficient polishing of 4H-SiC utilizing anodic oxidation
复制标题
阳极氧化高效抛光4H-SiC的初步研究
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Endo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Yamamura;K. Hosoya;Y. Imanishi;H. Deng;K. Endo
