Confocal laser displacement sensor using a micro-machined varifocal mirror
Confocal laser displacement sensor using a micro-machined varifocal mirror
复制标题
使用微加工变焦镜的共焦激光位移传感器
DOI：
10.1364/ao.56.006911
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
1.9
通讯作者：
and Kazuhiro Hane
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kenta Nakazawa;Takashi Sasaki;Hiromasa Furuta;Jiro Kamiya;Hideki Sasaki;Toshikazu Kamiya;and Kazuhiro Hane
