(006)-oriented α-Al_2O_3 films prepared in CO2-H2 atmosphere by laser chemical vapor deposition using a diode laser
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利用二极管激光器在CO2-H2气氛中激光化学气相沉积制备(006)取向α-Al_2O_3薄膜
DOI：
10.1016/j.mseb.2011.05.030
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Goto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. You;A. Ito;R. Tu;T. Goto
