有关MEMS结构运动过程中产生和辐射电磁波的研究(英文)
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DOI：
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发表时间：
2012
影响因子：
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通讯作者：
韩磊
中科院分区：
文献类型：
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作者：
张晓艳;黄庆安;韩磊
