电感耦合式射频离子源放电与引出特性实验
电感耦合式射频离子源放电与引出特性实验
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DOI：
10.3969/j.issn.1671-1815.2019.22.003
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
张兴民
中科院分区：
文献类型：
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作者：
李建鹏;李兴达;张兴民
