固相成長による結晶化誘発YSZ層上の非晶質Si薄膜の結晶化
固相成長による結晶化誘発YSZ層上の非晶質Si薄膜の結晶化
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YSZ层上非晶硅薄膜的固相诱导晶化
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
SUKREEN Hana,堀田將
中科院分区：
文献类型：
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作者：
赤堀達矢;SUKREEN Hana,堀田將
