Characteristics of copper deposition in a supercritical CO 2 fluid

Characteristics of copper deposition in a supercritical CO 2 fluid
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超临界CO 2 流体中铜沉积的特性

DOI:
10.1016/s0167-9317(02)00826-2
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发表时间:
2002
影响因子:
2.3
通讯作者:
H. Kato
H. Kato
中科院分区:
工程技术3区
文献类型:
--
作者:
E. Kondoh;H. Kato

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