Substructures of gas-ion-irradiation induced surface blisters in Si studied with cross-sectional transmission electron microscopy
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用截面透射电子显微镜研究硅中气体离子辐照引起的表面气泡的亚结构
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and N. Enomoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Muto;and N. Enomoto
