K.Hirata,D.Y.Sim and M.Esashi: "Delopment of an Anti-Corrosive Integrated Mass Flow controller"Technical Digest of the 17th Sensor Symposium. 17. 49-54 (2000)
K.Hirata,D.Y.Sim and M.Esashi: "Delopment of an Anti-Corrosive Integrated Mass Flow controller"Technical Digest of the 17th Sensor Symposium. 17. 49-54 (2000)
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K.Hirata、D.Y.Sim 和 M.Esashi：“防腐蚀集成质量流量控制器的开发”第 17 届传感器研讨会技术文摘。
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