K. Teii, M. Hori, M. Ito, T. Goto and N. Ishii: "Study on Polymeric Neutral Species in High-density Fluorocarbon Plasmas"J. Vac. Sci, Technol.. Vol. 18. 1-9 (2000)
K. Teii, M. Hori, M. Ito, T. Goto and N. Ishii: "Study on Polymeric Neutral Species in High-density Fluorocarbon Plasmas"J. Vac. Sci, Technol.. Vol. 18. 1-9 (2000)
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K. Teii、M. Hori、M. Ito、T. Goto 和 N. Ishii：“高密度氟碳等离子体中聚合中性物质的研究”J。
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