AlN基板上UV-C LDのプロセス起因劣化

AlN基板上UV-C LDのプロセス起因劣化
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AlN 基板上 UV-C LD 的工艺诱导降解

DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
天野浩
天野浩
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
笹岡千秋;久志本真希;張梓懿;天野浩

文献摘要

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