AlGaN/GaNヘテロ構造中のプラズマ照射誘起欠陥に対する熱処理の影響
AlGaN/GaNヘテロ構造中のプラズマ照射誘起欠陥に対する熱処理の影響
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热处理对 AlGaN/GaN 异质结构中等离子体辐照引起的缺陷的影响
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
瀧本拓真,竹下浩司,中村成志,奥村次徳
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Akiyama;S. Kaneko;T. Ozawa;K. Yokomizo;and M. Itakura;瀧本拓真,竹下浩司,中村成志,奥村次徳
